DIENER 等离子清洗机
FemtoPCCE 触摸屏
适用制程研发, 清洁, 活化, 蚀刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反应室尺寸: ? 100 mm, L 280 mm
气体供应: 流量控制型 ; 双气体通道
射频发生器: 40kHz/100 W, 可调变输出功率
真空泵: Leybold, Te S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: 电脑控制
和谐电子香港有限公司
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经营模式:贸易商
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气体供应: 流量控制型 ; 双气体通道
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